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產品詳情

  • 產品名稱：EBARA荏原 低溫冷卻器

  • 產品型號：RJ-CA
  • 產品廠商：EBARA荏原
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原 低溫冷卻器 RJ-CA ，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 低溫冷卻器  RJ-CA 

EBARA荏原 低溫冷卻器  RJ-CA 


型號 RJ-CA

用于使用天然制冷劑 （CO2） 的半導體制造設備的低溫冷卻器

體積小，功率大
水冷
內置泵
天然制冷劑 R744 （CO?） （GWP=1）
CE 標志/SEMI/NRTL
減少占地面積
節能

產品介紹

該冷水機將天然制冷劑 （CO2） 用于半導體制造設備。 內置的緊湊型屏蔽泵和 Ebara 的變頻控制技術節省了空間和能源。 ± 0.1°C 的溫度控制成為可能，有助于提高工藝穩定性和產量。

型 RJ-CA1V 系列
冷卻能力 （50Hz/60Hz） 千瓦 4.0 （-10°C 時） 10.0 （20°C 時）
溫度控制范圍 °C -20~70°C
溫度控制精度 °C ± 0.1
尺寸（寬 x 深 x 高） 毫米 370 x 950 x 1080
質量 公斤 190 （不含循環液或冷卻水）
循環液 使用的流體 FC-3283、HT135、SF-10 等
壓力進料泵容量 升/分鐘 20 （0.76MPa）
冷卻水 溫度范圍 °C 10~25
**標準 SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL
權力 V 三相 200~208
運行控制方法 變頻器控制方法
使用的制冷劑 R744（二氧化碳變暖潛值：1）


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