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EBARA荏原 CMP設備 F-REX300XA，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：
EBARA荏原 CMP設備 F-REX300XA
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搭載了新開發的高效搬運結構和WPH優化算法。保持采用單桌單頭、雙模塊方式等荏原的高可靠性結構，進一步了提高生產效率。采用靈活的搬運結構并進一步實施防止交叉污染的措施，幫助提高成品率。此外，還采用了便于進行改造和升級的模塊結構，在未來擴展功能時，也能夠迅速導入新功能。此外，與F-REX300X型相比耗電量減少了約10%，并通過減少部件數量，削減了供應鏈中的CO2排放。支持更環保的半導體制造。
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