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簡單介紹：

EBARA荏原廢氣處理設備 G6-E-A4，北崎有售，歡迎咨詢。

詳情介紹：

EBARA荏原廢氣處理設備 G6-E-A4

G6-E型屬于燃燒式廢氣處理裝置，適合用于半導體制造工序中的外延生長裝置等處所用含有大流量氫氣和氯氣的廢氣處理用途。采用緊湊式設計，*大可進行200L/min氫氣處理，還能滿足同時進行氫氣和氯氣處理的要求。標配副產物去除功能，能夠降低維護成本和負荷。

規格

設備名稱	單位	G6-E A1~A4	G6-E P1~P4
處理方式		燃燒式 + 濕式	燃燒式 + 濕式
*大允許流入氣體量	L/min	400	400
燃料		城市燃氣	丙烷氣體
尺寸	W x D x H mm	1,200×650×1,900mm	1,200×650×1,900mm
H?*大可處理流量	L/min	200	200
可處**體例		工藝（沉積）氣體 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等	工藝（沉積）氣體 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
標準裝備品		大流量H2處理燃燒器	大流量H2處理燃燒器
標準裝備品		粉體去除用燃燒器刮板	粉體去除用燃燒器刮板
選項		自來水、污水使用量削減單元	自來水、污水使用量削減單元
選項		粉體排放削減用風機洗滌器	粉體排放削減用風機洗滌器

G6-E型

燃燒式廢氣處理裝置

滿足大流量氯氣、氫氣處理要求

批量處理多種氣體

高效處理PFCs氣體

副產物處理措施和粉塵自動排放功能

運行成本低

可調式運行

提高維護性能

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