瞬間高效率流體加熱技術產品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
- 可加熱各種流體
- 瞬間且穩定的流體加熱
- 質量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
瞬間且穩定的流體加熱
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達到穩定加熱的目的。
質量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結構。LINTEC自主研發的HX系列加熱器具備低壓降結構，適合與質量流量控制器輸出端連接使用。
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