LINTEC林泰克 低壓差質量流量控制器 MC-3000S
低壓差質量流量控制器MC-3000S
*小工作壓差800Pa（6 Torr）的低壓差質量流量控制器。
搭載LINTEC**的環境溫度補足式質流傳感器抵壓損構造，在±1%F.S.正確范圍內減少壓力損失。
搭載**的高性能壓電控制閥,在低壓差環境下亦可實現穩定、**的流量控制。
MC-3102S 系列
特別之處
低差 （800Pa）
工作溫度：5~50°C
金屬密封膠
無塵生產(粒子標準監控)
環境溫度補足式傳感器
RS-485numeric通訊接口
選配規格
微流量 F.S.
使用范例
低蒸氣壓氣體在低溫環境下的流量控制
MC-3000S系列是采用LINTEC獨自開發的抵壓損構造的質量流量控制器，如果次側為真空狀態，即使在常溫條件下也能對H2O等液原料進行流量控制。 推薦使用ITO 濺射方法，該方法將少量水蒸氣發送到vacuum room。 此外，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），常溫條件下也可以進行流量控制。
減壓罐容器（SDS vessel）的流量控制減壓罐容器（SDS容器）的流量控制
離子注入設備中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用**輸送源Safe Delivery Source（SDS）容器來實現**穩定的輸送。 SDS填充的罐壓低于大氣壓，需使用對應低壓差環境的MFC。 搭載低壓差結構的MC-3000S系列產品，則可以滿足這一需求。