簡 介
MC-7000 系列為高速應答質量流量控制器，應答時間可小于 200 毫秒特點
吏用熱式傳感器，應答時間可小于 200 毫秒搭配 LINTEC **的環(huán)境溫度補償式質流傳感器，可対應腐蝕性或液化氣體海保精度于±1%S.P.(設定值)范圍內吏用耐久性高、密閉性高的金屬密封件及高速度，高性能的壓電控制閥重訊方式可選用 DeviceNet (ODVA) 或是 EtherCAT®

高速應答質量流量控制器MC-7000
應答時間200msec的超高速質量流量控制器（MFC）。
通過使用熱傳感器，實現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達到±1.0％S.P.，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
產品特點
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封材
無塵（粒子標準監(jiān)控）
周圍溫度補償傳感器
支持EtherCAT通訊方式
支持DeviceNet?通訊方式

超高速流量制御

使用范例

快速刻蝕工藝

在半導體制造工藝中，在微細化的同時還需要提高產量。對于控制反應氣體流量的質量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實現(xiàn)200msec的超高速響應。同時，因為非接觸式的特點，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。

產品規(guī)格表