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產品詳情

  • 產品名稱：Lintec 高性能數字通訊質量流量控制器

  • 產品型號：MC-3000L
  • 產品廠商：LINTEC林泰克
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
Lintec 琳得科 高性能數字通訊質量流量控制器 MC-3000L,北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

高性能數字通訊質量流量控制器MC-3000L


可確保精度范圍在±1%S.P.（設定值）的高性能數字通訊質量流量控制器。可搭載的選配規格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。

特點

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 使用溫度5~50℃
  • 金屬密封件
  • 無塵生產（粒子標準監控）
  • 周圍溫度補償式傳感器
  • RS-485數字通訊接口

選配規格

  • 小流量F.S.
  • 液化氣體
  • 大流量范圍

使用范例

半導體生產前端工藝

由于CVD（化學氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。

此外，前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 選擇LINTEC高性能質量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應規格。

分析設備

分析設備可能需要控制極小流量，但一般質量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無法對應。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質量流量控制器MC-3000L還標配死體積較小的隔膜閥。

詳情請致電或郵件咨詢。

規格表

溫度 *下壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *小F.S. 密封件
5～50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 5SCCM 400SLM Au
Lintec 琳得科 高性能數字通訊質量流量控制器 MC-3000L


Lintec 琳得科 高性能數字通訊質量流量控制器 MC-3000L


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