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產品詳情
  • 產品名稱:COSMOS新宇宙毒氣及半導體氣體檢測儀

  • 產品型號:XP-703DII
  • 產品廠商:cosmos新考思莫施
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簡單介紹:
COSMOS新宇宙毒氣及半導體氣體檢測儀XP-703DII,北崎熱賣
詳情介紹:


COSMOS新宇宙毒氣及半導體氣體檢測儀XP-703DII

COSMOS新宇宙毒氣及半導體氣體檢測儀XP-703DII


XP-703DⅢ
半導體材料氣體檢測

檢測對象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測濃度

1.0μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.2μmol/mol丨0.5μmol/mol丨0.3μmol/mol

檢測原理

專線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

應用行業

半導體制造

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產品詳情
PRODUCT DETAILS

產品描述:半導體材料氣體檢測


 

可檢測微量的半導體材料氣體泄漏,可對半導體工廠等使用毒性氣體的場所進行泄漏檢測,

也可對氫氣相關設備提供**保障。
 

 

01.產品特點

·  小型·輕量

·  可以檢查非常微量的氣體泄漏
 

·  適合氫氣相關設備的**防護

·  搭載的泵有自動停止功能

·  搭載[自動氣體排氣模式]功能

·  保護等級約為IP22(JIS C  0920)※安裝皮套時

 

02.產品用途

·  半導體工廠/石油化學工廠等

·  在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測

 

03.產品參數

型號 XP-703DⅢ
檢測對象氣體 半導體材料氣體(砷烷、磷化氫、乙硼烷、硅烷、氫氣)
檢測原理 專線型半導體式
采樣方式 自動吸引式
  砷烷 磷化氫 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH? PH? B?H? SiH? H?
可檢測泄漏量
[Pa·m3/s]
2.53x10?? 1.52x10?? 1.01x10?? 2.53x10?? 5.07x10??
可檢測濃度
[μmol/mol]
0.5 0.3 0.2 0.5 0.1
反應時間 10秒以內(探測的氣體為可檢測濃度的3倍時,靈敏度設定為[4])
報警方式 發出斷斷續續的聲音及報警燈閃爍
電源 5號堿性干電池(LR6)2節
連續使用時間※1 約12小時(5號堿性干電池)[在常溫·常濕條件下]
保護等級※2 IP22 相當※3
使用壓力范圍 大氣壓(800~1100hpa)
使用溫濕度范圍 0C~40℃、85%RH以下(無結露現象)
外形尺寸 W38xH130xD32mm(突出部分除外)
重量 約190g(包含電池、皮套)
標配附件 皮套、引導管過濾片、替換用過濾芯、導氣管、點檢氣體、手提掛繩、5號堿性干電池2節等

※1. 根據不同環境條件、使用條件、保存期限、電池廠家,有時會有不同。

※2. 安裝皮套時。

※3. IP22相當是指機器內部危險場所附近所對應的保護構造(IP2X)、與垂直方向呈15°范圍內掉落的水滴不會引起機器內部異常的防浸水構造(IPX2)。


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