4800 系列熱敏 MFC

長處

• 流量響應時間（穩定時間）0.75秒以下
• **的MEMS傳感器和專用的PID算法
• 尺寸僅為普通散熱 MFC 的一半，緊湊尺寸：1“ x 3” x 4“ （25 mm x 76 mm x 101 mm）
• 使用可選的本地操作員界面（LOI）簡化設置和操作：下載免費的LabVIEW VI進行設備監控和歸零
• 通過 RS-232 提供數字支持

優點

• 適用于各種非腐蝕性氣體
• 快速響應時間確保快速步驟，即使過程中配方更改也是如此
• 原始設備制造商的理想選擇：緊湊的尺寸，可以輕松集成到狹小的機器空間中，并加快安裝速度
• 可選的本地操作員界面 （LOI） 是用于本地顯示、設定點控制和設備配置的交鑰匙解決方案。 無需遠程二次電子設備。
• 多種通信選項，滿足您的需求

用途

• 熱處理、切割/焊接、熱處理
• 太陽能/薄膜物**相沉積 （PVD） 系統
• 用于試劑、校準、測量和控制 Mr./Ms. 氣體流量的分析設備
• 
  

  產品類型	4850質量流量控制器	4860質量流量計
  流量范圍（滿量程容量）	50 SCCM - 40 SLPM	50 SCCM - 40 SLPM
  精度	3.0% 滿量程 1.0% F.S. （可選）	3.0% 滿量程 1.0% F.S. （可選）
  再現性	0.15% 滿量程	0.15% 滿量程
  響應時間	常閉閥：300 ms - <1 sec	常閉閥：300 ms - <1 sec
  *大壓力	150 psig/10 barg	150 psig/10 barg
  診斷能力	狀態指示燈：MFC 運行狀況、網絡狀態 報警：傳感器輸出、控制閥輸出、超溫、電涌/驟降、網絡中斷 診斷/服務端口：RS485 通過 2.5 毫米插孔	狀態指示燈：MFC 運行狀況、網絡狀態 報警：傳感器輸出、控制閥輸出、超溫、電涌/驟降、網絡中斷 診斷/服務端口：RS485 通過 2.5 毫米插孔
  模擬通信	0-5 伏直流電 4-20 毫安	0-5 伏直流電 4-20 毫安
  數字通信	RS232接口	RS232接口