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產品詳情
  • 產品名稱:ADVANCE RIKO先進理工 紅外燈退火設備

  • 產品型號:RTA-2000
  • 產品廠商:ADVANCE RIKO先進理工
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簡單介紹:
10秒達到目標溫度! 我們相信我們的紅外燈加熱具有高能量密度、近紅外線、高熱響應、溫度可控、真空清潔加熱等特點。可容納 2 英寸(50 毫米)至 12 英寸(300 毫米)晶圓的產品陣容。 我們通過 RTA 系列提供所需的熱處理配方(加熱/冷卻)和氣氛(真空或氣體)來滿足客戶需求。
詳情介紹:
  • 離子注入后激活退火
  • 氧化膜生成退火
  • 歐姆電極的合金化
  • PZT 和 SBT 等鐵導體薄膜的結晶退火
  • 硅片施主殺手處理
  • 硅化物形成、自對準硅化物形成
  • 發光元件及半導體激光基板的熱處理
  • 超淺鍵形成
  • 鐵電電容器成膜
  • 柵極氧化膜形成
  • 加熱速度可達200℃/s
  • 提供 C 到 C 機器人傳輸系統
  • 可連接至半導體制造設備
  • 燈區輸出控制,允許浸泡多張紙
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