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- FUJICOM富士
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- KANETEC強力脫磁裝置
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- YUASA尤阿薩折彎機
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產品詳情
簡單介紹：
電阻率參考晶圓 NRW 系列
詳情介紹：
產品特性和功能
NRW 系列是一種參考硅晶圓，已通過電阻測量**制造商 Napson 的電阻率評估和認證。 它使用具有出色穩定性的中子輻照晶圓。
Napson 的四探頭電阻測量儀器由電阻率標準晶圓（NIST、VLSI）校準，并符合以下 SEMI 標準、日本工業標準 （JIS） 和美國材料與試驗協會 （ASTM） 標準。
< 標準>
[SEMIl 標準]
SEMI-MF43-99、SEMI-MF374-02、SEMI-MF84-02、SEMI-MF1529-02
[美國測試協會和 材料）]
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84）， ASTM-F-374-00a， ASTM-F-390-11， ASTM-F-1529-97
[日本工業標準]
JIS-H-0602-1995
測量規格
通用規格
- 材質：硅膠
- 制造方式：FZ法
- 表面光潔度：包裹
- 晶體方向：（1-1-1）±1度
- 摻雜：N型（磷）
- 晶圓尺寸：Φ100mm（4英寸）
- 晶圓厚度：*因電阻率類型而異。 請參閱下表。
晶圓產品陣容/規格
| 類型 |
電阻率 （Ohm.cm） |
晶圓厚 度 （μm） |
薄層電阻 （Ohm/sq） * 計算值 |
|---|---|---|---|
|
NRW-1-28 |
28.00 ±2.00 | 559.00 ±25.00 | 約500人 |
|
NRW-2-110 |
110.00 ±11.00 | 580.00 ±10.00 | 約2,000人 |
| NRW-3-200 | 200.00 ±12.00 | 675.00 ±25.00 | 約3,000人 |
| NRW-4-330 | 330.00 ±25.00 | 675.00 ±25.00 | 約5,000人 |
| NRW-5-550 | 550.00 ±50.00 | 450.00 ±25.00 | 約12,000人 |
電阻率測量保證精度
| 保證位置 | 精度 |
|---|---|
|
中心面積 （*距晶圓中心φ5mm光斑） |
± 3 % |
* 在納普森的評估標準環條件/邊界下保證精度
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