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簡單介紹：
用于有機薄膜材料的氣
相沉積源在低溫（80至600°C）下具有出色的控制和響應能力 穩定的
沉積速率易于
填充和更換坩堝
詳情介紹：
主要技術指標
- 坩堝材料：石英（標準）、氧化鋁
- 坩堝容積：1cc（LTE1）、5cc（LTE5）
- 表殼：SUS304
- 頂板：氧化鋁
- 溫度傳感器：K型熱電偶
- 固定：M6固定支架（或CF、ISO法蘭）
LTE控制器
參考圖 （Φ2“ Flexihead）
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