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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本LTE有機(jī)氣相沉積源

  • 產(chǎn)品型號(hào)：LTE1
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
用于有機(jī)薄膜材料的氣 相沉積源在低溫（80至600°C）下具有出色的控制和響應(yīng)能力 穩(wěn)定的 沉積速率易于 填充和更換坩堝
詳情介紹：

主要技術(shù)指標(biāo)

 

  • 坩堝材料：石英（標(biāo)準(zhǔn)）、氧化鋁
  • 坩堝容積：1cc（LTE1）、5cc（LTE5）
  • 表殼：SUS304
  • 頂板：氧化鋁
  • 溫度傳感器：K型熱電偶
  • 固定：M6固定支架（或CF、ISO法蘭）

LTE控制器

參考圖 （Φ2“ Flexihead）

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