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產品詳情
  • 產品名稱:THERMOCERA日本K.K有機膜和金屬膜沉積系統

  • 產品型號:nanoPVD-T15A
  • 產品廠商:THERMOCERA日本K.K
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
小型、高性能 、高性能有機膜和金屬膜沉積設備
詳情介紹:
這是一種高性能的“有機薄膜和金屬薄膜沉積”系統。 采用Moorfield專有的LTE1有機氣相沉積源,具有優異的溫度響應、穩定性和重現性,采用TE1-Box屏蔽金屬材料沉積源。 適用于OLED、OPV、OTFT等有機薄膜沉積和金屬材料沉積。 該多功能裝置可配備多達2個金屬沉積源和多達4個有機氣相沉積源,并能夠自動連續多層沉積和同時沉積。 我們響應研發領域的各種要求。

出色的基本性能

 

  • **真空 5x10-5 Pascal
  • SUS304 高真空室
  • 快速真空到達(約 10 分鐘至 1x10-3Pa)
  • T/S調節距離:300mm 均勻氣相沉積膜

高性能系統

 

  • 7 英寸觸摸屏,用于集中管理所有操作、薄膜沉積控制和數據管理
  • 自動連續多層
  • 共沉積(*LTE有機源)
  • APC控制(PID自動壓力控制)
  • PLC自動排序(吸塵和排氣)操作

很多選擇

 

  • 電路板旋轉、上/下和下降
  • PCB加熱器 500°C
  • PCB快門、光源快門
  • 快速排氣(至少 6 分鐘)

主要技術指標

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