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產品詳情

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產品名稱：THERMOCERA日本石墨烯/碳納米管合成器
產品型號： nanoCVD-8N
產品廠商：THERMOCERA日本K.K
產品文檔：

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簡單介紹：

一批只需30分鐘，即可輕松合成上等石墨烯和碳納米管

詳情介紹：

CVD（化學氣相沉積）

CVD法是一種穩定的技術，已經建立起來用于多種用途，是未來考慮石墨烯和碳納米管大規模合成時*現實的方法。制造商 Moorfield 與英國國家研究所合作，反復驗證了這種沉積實驗設備。在研究機構的合作下，已經驗證了利用拉曼光譜、SEM、AFM等分析數據可以生產出高質量的石墨烯和CNT Mr./Ms.。

冷壁CVD

采用反應快、重現性優異的冷壁/高溫樣品加熱臺（熱板）。設備更小，加工時間縮短，操作優良，可創建和儲存30種合成配方。除了標準系統配置外，還可以根據要求定制設備配置。 nanoCVD系統是一種小型實驗裝置，具有無限潛力，可以為基礎研發領域做出貢獻。

特征

石墨烯和碳納米管（SWNT）沉積實驗可以很容易地進行，而無需使用大型設備。
1批只需30分鐘！
采用冷壁式高效、高精度的過程控制
快速升溫：RT→1100°C/約3分鐘
高性能機器，具有高精度的溫度流量控制和出色的重現性
簡單易用！通過 5 英寸觸摸屏進行操作和配方管理
*多可以創建和保存 30 個配方，30 個合成程序步驟。
標配專用軟件，輸出為CSV文件，在PC上記錄數據
USB線連接，PC端創建配方→上傳到設備

外形圖

主要技術指標

A. 主要規格

1.反應室室	不銹鋼SUS304檢漏
2.加熱階段	陶瓷
3. 對應樣本量	20 x 40毫米
4.加熱加熱器	高純石墨加熱器 Max1050°C
5.溫度控制	包括K型熱電偶標準（安裝在加熱階段下方）

B. 過程控制設備規格

1.氣體控制	質量流量控制器 x 3 （Ar， H2， CH4）
2.壓力控制	20托爾 F.S.
3.真空排氣	帶 RV3 的 Edwards 旋轉泵（3m3/hr）
4.操作面板	前置5英寸觸摸屏（歐姆龍制造）
5.風冷	用于機柜內部冷卻的冷卻風扇
6.控制系統	PLC自動過程控制

C. 軟件（標準附件）

1. nanoCVD軟件	包括標準（安裝石墨烯的標準程序）
2. 接口	USB 2.0 連接
3. 設置數量	*多可編程和保存 30 個配方，30 個步驟

D. 進氣口連接規格

1. 工藝氣體	3 x Ar、H2、CH4 1/4“ 世偉洛克管連接
2.載氣	N2，或氬φ6mm推鎖管連接 x 1

E. **裝置

1.過熱	由加熱級安裝熱電偶控制
2. 機柜內部過熱	從內部熱開關
3.氣壓異常	來自質量流量控制器
4.降低真空度	來自真空傳感器