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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本半自動超高溫實驗反應(yīng)爐

  • 產(chǎn)品型號：Mini-BENCH
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
通過在Mini-BENCH中添加PLC自動序列來提高可操作性 [Mini-BENCH-prism]
詳情介紹：
PLC半自動控制 臺式Mini-BENCH**型號
的半自動控制型“吸塵”和“排氣”電爐操作的自動順序控制（手動調(diào)節(jié)氣體流量→針閥），并
監(jiān)測冷卻水異常、腔室溫度異常和超壓異常。 由SUS堅固的水冷室制成，即使在*高溫度下連續(xù)使用也能**使用。

特征

 

  • 節(jié)省空間：603 （寬） x 603 （深） x 1,170 （高） mm
  • PLC半自動操作：（吸塵/吹掃×3次循環(huán)排氣）
  • 聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度、加熱器過熱、真空、腔室開閉）
  • 圓柱形加熱器（用于坩堝）和平面加熱器（用于晶圓燒制）
  • 工作氣氛：真空、惰性氣體、還原氣氛

 

*訂購時請按照以下說明進(jìn)行操作。

?要求的設(shè)備配置（A或B以上）、
爐膛加熱范圍、尺寸
、樣品材料、形狀
、燒成溫度條件
、爐膛氣氛（真空燒成、氣體類型）

原理圖規(guī)格

加熱器

 

  • 平面加專線（晶圓用）：C/C復(fù)合材料（或鎢）
  • 圓柱形加熱絲（坩堝用）：C/C復(fù)合材料（或鎢）

* 根據(jù)加熱范圍的尺寸，平面加熱器和圓柱形加熱器可以組合使用，以實現(xiàn)整個坩堝的均勻加熱。

電爐控制單元

選項和定制規(guī)格

 

  • 高真空泵
  • 前視口
  • 額外的進(jìn)氣口
  • MFC、APC自動壓力控制等氣體控制裝置
  • 此外，我們將根據(jù)您的要求回復(fù)定制信件。 請聯(lián)系我們。
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