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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本SH加熱器

  • 產(chǎn)品型號：SH-IN
  • 產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
高真空、高性價比的高溫加熱器，非常適合 惰性和活性氣體中的薄膜實驗
詳情介紹：
SH 系列 Incone/BN 板基板加熱器使用氣密加熱器塊來防止工藝氣體和體積進(jìn)入，使其成為 CVD 等薄膜實驗的理想選擇。 *高工作溫度：*大850°C（SH-IN），MAX1100°C（SH-BN），加熱有效面積：φ1.0至6.1英寸。 標(biāo)配基板固定夾（固定在屏蔽外殼表面）和K型護(hù)套熱電偶，還可以制造可選的真空引入法蘭（ICF、VG、NW等）、電路板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、基板法蘭和基板偏置規(guī)格。

用

 

  • 薄膜形成（CVD、濺射、PLD、真空沉積等）
  • 薄膜應(yīng)力分析
  • 金剛石薄膜
  • 退火設(shè)備
  • 其他

使用的加熱元件

 

  • NiCr加熱元件
  • 鎢加熱元件

頂板材料

 

  • Inconel 600 板 （SH-IN）
  • BN板，鉬蓋（SH-BN）

主要技術(shù)指標(biāo)



目標(biāo)輪播（自動目標(biāo)旋轉(zhuǎn)）

 

PLD（脈沖激光沉積）1英寸，2英寸目標(biāo) x 3



總結(jié)

 

對于PLD設(shè)備，準(zhǔn)分子激光目標(biāo)的照射可以均勻。

 

  • 目標(biāo)尺寸：1英寸、2英寸
  • 目標(biāo)數(shù)量：*多 3 個
  • 連接法蘭：8英寸（ICF203）
  • 可自轉(zhuǎn)（旋轉(zhuǎn)切換，旋轉(zhuǎn)目標(biāo)旋轉(zhuǎn)）
  • 19 英寸機(jī)架式，帶專用控制器




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