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產品詳情

  • 產品名稱：日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化／CHARGE ERASE裝置

  • 產品型號：φ12寸
  • 產品廠商：USHIO牛尾
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簡單介紹：
紫外線照射裝置，在LSI制造生產聯機使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除裝置。 配備超高壓UV燈與EXCIMER燈，應用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。
詳情介紹：

日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化／CHARGE ERASE裝置φ12寸


紫外線照射裝置，在LSI制造生產聯機使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除裝置。

配備超高壓UV燈與EXCIMER燈，應用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。

特征：
  • 高照度、均一度照射
  • 初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均勻度保證在±10%。


  • 采用依據SEMI規定之裝載接口的EFEM（φ12寸裝置）
  • φ12寸用裝置、采用裝載接口(依據SEMI) 的EFEM、
  • 以及搬運系統 采用無塵快速的2Finger搬運機器人、以達到高Throughput。


  • 采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準（φ12寸裝置）
  • φ12寸用裝置采用Windows NT PC，達到**的操作性。亦符合GEM300規定。


  • 燈管裝置更換容易
  • 燈管更換時無須調整，并降低裝置的停機時間。


  • 配備照度一定方式與積累計算曝光方式（φ12寸裝置：選購配備）
  • 使用照度一定方式、并積累計算曝光方式、達到制程的穩定化與一致化。


  • 豐富的產品系列
  • 對應φ6寸用裝置（可與φ5寸以下共用）、φ8寸用裝置（ 可與φ6寸以下共用）、
  • 以及φ12寸專用裝置等所有工具匣。此外，亦備有準分子(Excimer)燈的φ8寸用裝置。


2Finger搬運機器人



燈光裝置


主要用途：

  • 提高乾蝕時的耐電漿性

  • 離子注入時的阻劑脫氣及燒入

  • 電荷消除與消除疲乏

  • Low-k Cure

  • 薄膜磁頭之層間絕緣膜形成

  • 化合物半導體的Lift-Off工程

  • 表面改質

  • CCD與CMOS影像儀的去色(bleaching)等






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