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產品詳情

  • 產品名稱：THERMOCERA日本真空用超高溫BH加熱器

  • 產品型號：BHS-1Ta-P-R0
  • 產品廠商：THERMOCERA日本K.K
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
高真空兼容 3 種加熱器材料選項。 可應用于PVD（濺射、氣相沉積、EB等）、高溫真空退火、高溫分析基板等。
詳情介紹：

Φ1、2、4寸 Φ1、2、4寸真空薄膜實驗基板加熱加熱器，供高校、科研院所使用。 提供三種類型的加熱器線選項（Kanthal、C/C 復合材料、Ta）。 可作為各種薄膜實驗的基板加熱臺。

* 根據使用條件，建議使用帶有水冷機構的類型。

加熱元件、*高溫度（板溫）、使用環境


加熱元件材料 *高溫度 使用氛圍
康塔爾 800°攝氏度 真空、惰性氣體、O2、大氣
C/C復合材料 1600°C* 在真空中，惰性氣體
鉭 1200°攝氏度 真空、惰性氣體、還原氣體

* 需要冷卻

Φ1寸加熱器外觀（有效加熱范圍Φ26.5mm）

 
零件編號 加熱元件 盤子 外殼護罩 *高溫度 熱電偶
BHS-1KA-P-R0型 康塔爾 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 800°攝氏度 K
BHS-1CC-P-R0型 C/C復合材料 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 1600°攝氏度 C
BHS-1Ta-P-R0型 鉭 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 1400°攝氏度 C

Φ2英寸加熱器外觀（有效加熱范圍Φ54.0mm）

 
零件編號 加熱元件 盤子 外殼護罩 *高溫度 熱電偶
BHS-2KA-P-R0型 康塔爾 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 800°攝氏度 K
BHS-2CC-P-R0型 C/C復合材料 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 1600°攝氏度 C
BHS-2Ta-P-R0型 鉭 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 1400°攝氏度 C

Φ4寸加熱器外觀（有效加熱范圍Φ104.0mm）

 
零件編號 加熱元件 盤子 外殼護罩 *高溫度 熱電偶
BHS-4KA-P-R0型 康塔爾 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 800°攝氏度 K
BHS-4CC-P-R0型 C/C復合材料 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 1600°攝氏度 C
BHS-4Ta-P-R0型 鉭 氮化 鋁 SUS304 或 Mo 1400°攝氏度 C

※ 無前板




零件編號 代碼“E”
，例如 BHS-2KA-E-R0

選擇：

 
根據要求提供安裝支架
板架
非標加專線（W、MO、NB、PT/RE、WRe）
和其他定制規格。 請聯系我們。

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