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產品詳情
  • 產品名稱:ULVAC愛發科低溫泵

  • 產品型號:CRYO-U10HSP
  • 產品廠商:ULVAC愛發科
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同,從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
詳情介紹:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同,從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

特點

  1. *適合濺射應用。
  2. 氬氣容量是現有型號(U10H)的2倍。
  3. 再生時間間隔延長意味著更高的可用性。
  4. 可以進行多個連接(*多3個)。

標準規格

排氣速度(20℃) L/s 2,400
3,600
2,000
6,900
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.30×103(9.8)
2.1×102(1.6)
排氣容量 Pa?L(Torr?L) 2.0×108(1.5×106)
1.2×106(9.0×103)
冷卻下降時間
(動力循環)
min(Hz) 120/110(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-250,10BANSI
壓縮機組 C15R
重量 Kg 36.0

*維護周期:16,000小時
*移動托盤可選

外觀尺寸 (單位:mm)

u10hsp.gif
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